真空度测试仪的运作指标：
量测误差 < 10%
量测分辨率 0.01×10-4Pa
高压输出 DC22kV
环境温度 －20℃～+70℃
空气湿度 < 80%RH
电源电压 AC220V 50Hz（±10%）
运作功率 40～70W
重量 5Kg
外形尺寸 400×300×220（mm）
真空度测试仪在量测原理上与目前常用的工频耐压法及磁控放电法有很大的区别，它无需磁控线圈，采用高压直接击穿，使用电光转换及隔离传感器采集阴极的离子电流，采样信号经过前级预处理电路转换送入A/D，微处理器使用获得的A/D数据进行特定计算得到灭弧室的真空度。