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真空度测试仪简单参数及漏电电流的处理

发布时间:2013-10-12
真空度测试仪简单参数及漏电电流的处理 
真空度测试仪均采用基于电离电荷的采样技术,我公司专家在磁控放电的研究中发现:在外激励电源、真空灭弧室的几何尺寸、所用材料一定时,真空灭弧室内的真空度与电离的电荷量有非常准确的对应关系,而与电离电流的峰值仅有概率上的相关性。因此,我公司开创了基于电离电荷的采样技术,显著提高了真空灭弧室的真空度计量的准确性。

真空度测试仪技术参数

测量范围:1×10-5 ~1×10-1Pa
测量误差:1×10-4~1×10-1 Pa中误差<10%
测量分辨率:10-5Pa
漏气的灭弧室在测量中将发生电击穿。
允许环温:0℃~55℃
空气湿度:〈85%RH
电源:AC220±l0%
外型尺寸:455x330x250mm


真空度测试仪对处于分断状态的真空灭弧室两端加高压时,会有数值不等的几个微安的漏电电流,此漏电电流即使是同型号的真空灭弧室也有较大的个体差异。尤其是对于装在整机上的真空灭弧室,由于其周边的绝缘支撑件也有漏电,这些漏电的总和有更大的不稳定性和不可预测性,并且在数值上与10E-4Pa数量级的真空灭弧室的电离电流相当。我们采用两次起动高压的方法,扣除了漏电电流,保证了无论是装于整机上还是待装的真空灭弧室的真空计量精度。

真空灭弧室由于其几何尺寸、材料的不同,当内部真空度和外加激励电源一定时,其放电电荷量是不同的,并且有相当的差异。为准确测量,对每一种真空灭弧室必须有对应的从电离电荷量到真空度推算曲线,我公司的专家通过与国内主要真空灭弧室生产厂家的密切合作,取得了几乎国内外所有真空灭弧室的电离电荷和真空度关系的数据,通过数学处理,将其特征参数送入VC系列产品。因此,VC系列产品内置国内外几乎所有真空灭弧室的测量曲线,这是国内外同类产品中****的。
 

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