平行平晶

平晶具有两个(或一个)光学测量平面的正圆柱形或长方形的量规。光学测量平面是表面粗糙度数值和平面度误差都极小的玻璃平面﹐它能够产生光波干涉条纹(见激光测长技术)。平晶有平面平晶和平行平晶两种。平面平晶用于测量高光洁表面的平面度误差﹐图1a平晶检验为用平面平晶检验量块测量面的平面度误差。平行平晶的两个光学测量平面是相互平行的﹐用于测量两高光洁表面的平行度误差﹐例如千分尺两测量面的平行度误差(图1b平晶检验)。
　　平晶用光学玻璃或石英玻璃制造。圆柱形平面平晶的直径通常为45～150毫米。其光学测量平面的平面度误差为﹕1级精度的为0.03～0.05微米﹔2级精度的为0.1微米。常见的长方形平面平晶的有效长度一般为200毫米。
　　平晶是利用光波干涉现象测量平面度误差的﹐故其测量方法称为平晶干涉法(图2平晶干涉法)﹐也称技术光波干涉法。
　　测量时﹐把平晶放在被测表面上﹐且与被测表面形成一个很小的楔角﹐以单色光源照射时会产生干涉条纹。干涉条纹的位置与光线的入射角有关。如入射光线垂直于被测表面﹐且平晶与被测表面间的间隙很小﹐则由平晶测量面P反射的光线与被测表面反射的光线在测量面P发生干涉而出现明或暗的干涉条纹。若在白光下﹐则出现彩色干涉条纹。如干涉条纹平直﹐相互平行﹐且分布均匀﹐则表示被测表面的平面度很好﹔如干涉条纹弯曲﹐则表示平面度不好。其误差值为﹐式中为两干涉条纹间距离﹐ 为干涉条纹的弯曲值﹐ 为光波波长﹐白光波长一般以0.6微米计算。