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洁净工作台洁净度检测
日期：2024-08-07 17:31
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摘要：
测试方法：
1）进行洁净度测试时，吸风口处的气溶胶浓度（对于≥0.5μm的粒子）不得小于35000粒/L，当吸风口处不能满足上述指标时，宜在洁净工作台吸风口处发多分散DOP气溶胶。
2）当吸风口处的气溶胶浓度达到稳定条件下，在距主过滤器或整流格栅出口250 mm的平行断面的中心处(垂直层流洁净工作台距操作台面250 mm的中心处)连续测试5次，求其平均值。
3）操作区气溶胶浓度测试尽量采用大流量（47.2X10-5m3/s（28.3 L /min））尘埃粒子计数器，也可采用小流量尘埃粒子计数器，但采样量不得小于1L。
4）洁净工作台吸风口处的气溶胶浓度测试，需要在测试洁净工作台操作区气溶胶浓度的时间内进行，要测5次以上。
5）当测试时有≥5μm粒子出现时，应进行多次采样，当其多次出现时，才认为该测试数值是可靠的。
可比工作环境条件下的操作区气溶胶浓度计算:
C=C2/C1×C0
式中:C— 操作区对比气溶胶浓度(≥5μm),(粒/L)；
C1 — 洁净工作台吸风口处≥5μm的气溶胶浓度平均值，粒/L；
C2 — 洁净工作台操作区≥5μm的气溶胶浓度平均值，粒/L；
C0— 可比工作环境中的≥5μm的气溶胶浓度，取值为350 00粒/L。
使用条件下操作区的洁净度
洁净工作台在使用条件下，不论其使用环境中的含尘浓度是多少，要按有关规定进行测试，并按操作区气溶胶的实测浓度来评价操作区的洁净度。
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