洁净室气密性测试主要是检验洁净室的墙壁、地板、顶棚、管线以及其他防护屏障是否足够严密, 避免空气从洁净室泄漏出去或室外污染空气渗入 室内。
1、保持室内为正压或负压均能满足检验要求，但条件允许时，负压洁净室宜用正压检验，正压洁净室宜用负压检验。
2、可按以下方法进行检测：
1）压力衰减法 使室内达到某一压力（正压或负压），关闭加压或抽负压系统，观察压力随时间衰减到起始压力的一半所用的时间，即为测量室内正压或负压的半衰期。2）恒压法 使室内达到某一正压，同时向室内补气，使室压达到要求的稳定值而不下降时的补气即为泄量。使室内达到一负压，使室压维持要求的稳定值而不下降时的抽气量即为漏泄量。
