既然现在没有加压的流量校准装置在同一测试回路中既能用天然气校准也能用空气校准，*好的选择是用惰性气体氮气，它有与空气接近的性质（空气含78%的氮气）。西南研究院拥有一套循环系统（不是气体管线的一部分），它是北美**的可以用同一套仪器在相同的回路中既适用于氮气也适用于天然气测试的装置。尽管音速喷嘴装置是用称重系统确定质量流率的校准装置，音速喷嘴流率计算需要气体组成和状态方程来确定气体性质。同时决定在回路中使用参考涡轮流量计来对比两种体积计量的流量计（比如涡轮和超声流量计）。这种参考表法相比较流量计与音速喷嘴对比的方法对气体组成的以来要小。 浙江大学承担的“基于MEMS技术的天然气流量计实用化研究”课题，日前通过“863”计划先进制造与自动化领域MEMS专项组织的专家验收。TMF热式流量计系列产品精度高、流阻小、量程宽，现已实现小批量生产与试用。据介绍，科研人员重点研究了硅膜与基体材料之间的高效绝热薄膜层材料和加工工艺，以及传感器表面抗腐蚀、耐磨损、低粘附性封装材料及封装工艺，解决了天然气计量的热式流量计供电模式、静压误差补偿、温度漂移、表面粘滞效应等关键技术及工艺问题；研制出热惯性低、频响高的芯片级传感器和高精度、大量程、低功耗的热式流量计产品。