公布时间 各国标准
1961.3 美国空军技术条令TO.00-25-203
1963.7 美国空军技术条令TO.00-25-203**次修订本
1963.12 美国联邦标准FS—209
1964以前 苏联标准(计重法)
1965.8 美国空军技术条令TO.00-25-203**次修订本
1965 苏联标准CH317—65(计数法)
1966.6前 联邦德国标准
1966.8 美国联邦标准FS—209A
1967.8 美国国家航空与航天管理局NASA标准NHB5340.2
1968 民主德国标准
1972 法国标准ASPEC,Communication7202
1973.4 美国联邦标准FS—209B
1973 苏联标准OCT11Ⅱ-170-050.001-73
1975 日本工业标准B9920
1976.5 美国联邦标准FS—209B修订
1976,1977 联邦德国标准VDI2083
1976 英国标准
1976 澳大利亚标准
1984 中国标准《洁净厂房设计规范》GBJ 73-84
1987.10 美国联邦标准FS—209C
1988 日本工业标准JIS B9920洁净室悬浮微粒的测定方法和洁净室洁净度的评价方法(修订案)
1988 日本空气洁净协会标准
1988.6 美国联邦标准FS—209D
1992.11 美国联邦标准FS—209E
1996 俄罗斯标准GOSTR 50766-95
1999.5 国际标准ISO14644-1
2001.11 中国标准GB 50073-2001
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