学习洁净室内设备管理
在洁净室内产品生产过程中生产设备的尘粒污染是不可忽视的,大规模集成电路生产过程中生产设备的发尘量要占总微粒污染量的30%左右,可见其影响之大。
污染的类型,除了影响制作微细图形的微尘污染外,还有可使器件特性恶化的钠、钾等碱金属和铜、铁等重金属分子或分子级污染。所谓生产设备的污染,虽然有的是生产工艺固有的污染,但是还有源于设备制作材料、生产过程的原辅材料(包括反应气体、输送气体、吹扫气体和清洗用纯水等),工器具使用不当和机械运动及其润滑剂等的各类污染。还有在产品生产过程中由于操作失误也会造成不应有污染。表10-15是集成电路生产过程中真空设备的污染类型。从各种洁净室内产品生产的不锈钢风淋室实践表明,加强洁净室内产品生产过程中生产工艺和按规定记录各类设备的运转状态及有关参数,记录和分析定期检查、维修、清洗状况,尤其注意定期检查转动部件、通信和**报警装置以及自动装置等的完好状态。
建立各类设备技术状况、运行档案,将设备、仪器仪表说明书、产品资料以及图纸资料等分类编号妥善保管;设备维修和仪器仪表校正的记录;设备、仪器等的故障或事故记录;运行记录等均应分别汇编成册保管,以便掌握设备、仪器的完好状况和即时分析可能出现的各种问题,确保洁净室的正常、**运行。
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