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FFU负压密封
FFU
送风系统的静压箱为负压,因此即使风口安装存在泄漏,也是从洁净室向静压箱泄漏,不会形成对洁净室的污染。FFU系统也有缺点:风机数量大,故障机率大。且因FFU布置在吊顶上,维修有一定困难。而集中送风系统因设备较为集中,数量也少,易于维护。但这也不完全是缺点:FFU系统正是因为数量众多而分散,通常少量的FFU出现故障,并不能对洁净度造成严重的破坏。甚至可以在对洁净度几乎没有影响的情况下发现并修复故障单元。而集中送风系统只要一台AHU出现故障,就会造成大面积的洁净室停止运行,对生产的影响很大。在几乎所有的项目中,冷冻机、空压机、纯水设备、水泵、真空泵等都可以做到备份,尽量减少设备故障对生产的影响。唯独空调箱的备份几乎没有。FFU系统则在某种程度上实现了这个目的。因。要建筑如图1的洁净室,需要大量的CeilingGrid、FFU、架空地板和水滴型灯具,系统造价较为昂贵。在国内也只有大规模的电子厂房有所采用。对于一般的净化工程,则显得造价较高。改建项目更不可能这样做。实际上,FFU的应用还有几种变通的方法,可以大幅降低造价,对于建造1000级(0.5林m)及以上的乱流洁净室是可行的。
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