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FFU负压密封

FFU送风系统的静压箱为负压，因此即使风口安装存在泄漏，也是从洁净室向静压箱泄漏，不会形成对洁净室的污染。FFU系统也有缺点:风机数量大，故障机率大。且因FFU布置在吊顶上，维修有一定困难。而集中送风系统因设备较为集中，数量也少，易于维护。但这也不完全是缺点:FFU系统正是因为数量众多而分散，通常少量的FFU出现故障，并不能对洁净度造成严重的破坏。甚至可以在对洁净度几乎没有影响的情况下发现并修复故障单元。而集中送风系统只要一台AHU出现故障，就会造成大面积的洁净室停止运行，对生产的影响很大。在几乎所有的项目中，冷冻机、空压机、纯水设备、水泵、真空泵等都可以做到备份，尽量减少设备故障对生产的影响。唯独空调箱的备份几乎没有。FFU系统则在某种程度上实现了这个目的。因。要建筑如图1的洁净室，需要大量的CeilingGrid、FFU、架空地板和水滴型灯具，系统造价较为昂贵。在国内也只有大规模的电子厂房有所采用。对于一般的净化工程，则显得造价较高。改建项目更不可能这样做。实际上，FFU的应用还有几种变通的方法，可以大幅降低造价，对于建造1000级(0.5林m)及以上的乱流洁净室是可行的。

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