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洁净工作台净化空气原理
空气净化技术应用到半导体工业,半导体工业车间相对比较大,要建立一个无尘车间环境难度更大。早期半导体工业把带过滤夹层以及墙体的方法演化为洁净工作胎法,这个主要是把过滤器装在单个工作台上,并使用无脱裸的物质。在工作台以外,晶圆被装在密封的盒子中存储、运输。在大型的车间中按顺序排列的工作台组成加工区,使晶圆依工艺次序经过而从露于空气中。洁净工作罩中的过滤器是一种高效颗粒搜集过滤器。这些过滤器是由含许多小孔,并按手风琴琴叶折叠的脆性纤维组成,由于高密度的小孔与大面积的洁净度,并且对于操作员而言,在舒适的环境中工作也是必要的。典型的空气流量6为每分钟90到100英寸,HEPA过滤器可达到99.99%或更高的过滤效率,并可用于三种净化方法中。
一般来说,HEPA过滤器装于洁净工作台顶部,空气由风扇吸入先通过前置过滤器,再通过HEPA过滤器,并以均匀平行的方式流出,在工作台表面改变方向,流出工作台,安装挡板可控制晶圆表面空气流动方向,通常这种方式称为空气层流立式工作台,它是由空气流的方向命名的,有些工作台把HEPA过滤装于工作台后部,这种方式被称为空气层流平行式工作台。
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