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洁净工作台净化空气原理

空气净化技术应用到半导体工业，半导体工业车间相对比较大，要建立一个无尘车间环境难度更大。早期半导体工业把带过滤夹层以及墙体的方法演化为洁净工作胎法，这个主要是把过滤器装在单个工作台上，并使用无脱裸的物质。在工作台以外，晶圆被装在密封的盒子中存储、运输。在大型的车间中按顺序排列的工作台组成加工区，使晶圆依工艺次序经过而从露于空气中。洁净工作罩中的过滤器是一种高效颗粒搜集过滤器。这些过滤器是由含许多小孔，并按手风琴琴叶折叠的脆性纤维组成，由于高密度的小孔与大面积的洁净度，并且对于操作员而言，在舒适的环境中工作也是必要的。典型的空气流量6为每分钟90到100英寸，HEPA过滤器可达到99.99%或更高的过滤效率，并可用于三种净化方法中。

一般来说，HEPA过滤器装于洁净工作台顶部，空气由风扇吸入先通过前置过滤器，再通过HEPA过滤器，并以均匀平行的方式流出，在工作台表面改变方向，流出工作台，安装挡板可控制晶圆表面空气流动方向，通常这种方式称为空气层流立式工作台，它是由空气流的方向命名的，有些工作台把HEPA过滤装于工作台后部，这种方式被称为空气层流平行式工作台。

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