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尘埃粒子计数器技术要求

项目	技术要求
灵敏度（分辨率*）	0.1µm-5µm范围内粒径分辨率≦10%
测量不确定度	在粒径设定档，浓度误差±20%
校准周期	不超过12个月，或规定的性能验证时
计数效率	小粒径阀值时（50±20%），大于或等于小粒径阀值的1.5倍时（100±10%）
低浓度范围	与实际预期的*低计数相比，伪计数不显著。自净阶段计数在一段时间内等于零（例如，5min内无计数）
高浓度范围	在使用点，大于设施洁净度上限浓度2倍，且不超过制造商建议*大浓度的75%

*注：粒径分辨率大于10%的仪器，给出的粒子计数结果可能有高达1个数量等级的波动。

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