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半导体制造中必要的微量气体微量氧检测与控制

监测和控制特殊气体中微量杂质的完整解决方案

我们的氧气和水分分析仪和传感器，连同过程气相色谱仪，提供了一个完整的解决方案来监测和控制惰性气体、特殊气体和有毒气体的纯度，如：氮气（N2）、氦气（He）、氩气（Ar）、氧气（O2）、氢气（H2）、六氟化钨（WF6）、八氟环丁烷（C4F8），硅烷（SiH4）、锗烷（GEH4）、一氧化二氮（N2O）和三氟化氮（NF3）。

产品选择

高纯气体中的微量氧

应用/服务	测量范围	测量气体/背景气	推荐产品
高纯气体中氧污染的监测	0-100ppb	N2, H2, Ar	PI2-UHP100 & PI2-MS1000
监测大气钎焊和退火铜膜用高纯氢**剂气体的氧污染	0-100ppb O2	N2, H2, Ar	PI2-UHP100 & PI2-MS1000

样气杂质

样气	范围	AR(ldl)	H2(ldl)	CO2(ldl)	NMHC(ldl)	N2	CO(ldl)	CH4(ldl)
氦	0-500ppb	80ppt	95ppt	95ppt	100ppt	85ppt	95ppt	95ppt
氦	0-500ppb	x	100ppt	95ppt	100ppt	95ppt	95ppt	95ppt
氦	0-500ppb	80ppt	100ppt	100ppt	100ppt	100ppt	100ppt	100ppt
氦	0-500ppb	95ppt	x	95ppt	100ppt	90ppt	95ppt	95ppt
氦	0-500ppb	80ppt	95ppt	95ppt	100ppt	x	95ppt	100ppt

检测下限

注:噪音水平是基于使用氦保护气体的噪声峰值

组分	浓度 (ppb)	峰高 (mV)	噪音(mV)	LDL (3 倍噪音) (ppt)
氦	1.335	5.056	0.056	44ppt
二氧化碳	1.108	4.304	0.118	91ppt
非甲烷总烃	1.057	4.068	0.072	56ppt
氮	1.661	4.906	0.056	57ppt
一氧化碳	0.885	3.605	0.113	83ppt
甲烷	1.060	4.635	0.057	40ppt

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