ISO-14644的洁净度等级表。
一、净化工程洁净室主要根据室内洁净度、气流形式、控制对象、结构等特点分类。按室内洁净度分类主要分为1级、10级、100级、10000级、10000级。按控制对象分类分为工业洁净室和生物洁净室。工业洁净室以空气中的悬浮尘埃为控制对象,生物洁净室以悬浮生物粒子(微生物)为控制对象。洁净室它是悬浮粒子浓度受控,其建造和使用方式使得进入、产生、滞留于室内的粒子较少的房间。室内的其它参数包括:温度、温度、气压等,按需要受控。
二、ISO-14644的洁净度等级表。
洁净室及洁净空气中悬浮粒子的洁净度等级ISO-14644
空气洁净度等级(N)
≥表中粒径的*大浓度限值(个/m3)
0.1μm
0.2μm
0.3μm
0.5μm
1μm
5μm
1
10
2
/
100
24
4
3
1000
237
102
35
8
10000
2370
1020
352
83
5
100000
23700
10200
3520
832
29
6
1000000
237000
102000
35200
8320
293
7
352000
83200
2930
3520000
832000
29300
9
35200000
8320000
293000
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