一、高效过滤器过滤效率从99.5到99.999%@0.3μm不等;洁净室洁净度等级划分有:十级、百级、千级、万级、十万级,三十万级等静态。联邦209E标准:每立方英尺空间内粒径为0.5um的粒子不超过多少个。
I、ISO14644-9 洁净化学品(液体)。
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