一、H13高效过滤器FFU净化单元适用于各等级洁净室。H13高效过滤器FFU净化单元循环系统的特点是:整个洁净室由静压层、工艺层、工艺辅助层和回风通道组成,由FFU提供循环空气的动力,将新风、循环风混合后通过超高效过滤器送入工艺层和工艺辅助层,静压层相对于工艺层为负压。
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