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- 产品名称：微型角锥反射镜干涉仪
- 产品型号：MI系列
- 产品展商：其他品牌
- 发布时间：2018-07-28
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简单介绍
设计与操作：
MI系列微型干涉仪为纳米级精密测长仪器，采用立体角锥棱镜为反射靶镜，其微型激光传感测头与立体角锥棱镜可组成紧凑的测量系统。利用光纤耦合技术将激光器与干涉系统隔离。角锥棱镜运动产生的光学干涉信号通过光纤传输到光电信号处理与激光电源单元，经数据处理变为位移长度值。采用大范围动态稳频He-Ne激光器与环境参数实时采集动态修正技术，使测量分辨率达1.24nm，干涉仪本身无线性
产品描述
| 设计与操作： |
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MI系列微型干涉仪为纳米级精密测长仪器，采用立体角锥棱镜为反射靶镜，其微型激光传感测头与立体角锥棱镜可组成紧凑的测量系统。利用光纤耦合技术将激光器与干涉系统隔离。角锥棱镜运动产生的光学干涉信号通过光纤传输到光电信号处理与激光电源单元，经数据处理变为位移长度值。采用大范围动态稳频He-Ne激光器与环境参数实时采集动态修正技术，使测量分辨率达1.24nm，干涉仪本身无线性误差。小巧的激光测量传感头与角锥棱镜可以方便地与用户的测量系统相结合，实现各种实验与测量任务。仪器既可以通过专用的键盘与显示器，也可以通过PC实现人机交互与测量。 |
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用 途： |
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移动平台、显微平台、定位平台、计量仪器以及机床的高精度激光干涉长度测量
单/双/多轴精密工作台的位移测量
机器床身的单/多轴定位
机床或坐标测量机的校准
振动、角度测量
实现长度、角度同时测量
各类高精度长度测量仪器与设备的研发
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主要技术参数: |
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型号： MI Series MI150/MI5000
测定距离范围（mm):150/5000
刻度分辨率（nm）：1.24
额定波长（nm）：632.8
激光预热时间（min）：1/10-20
传感器头尺寸（H*W*D)：36*70*70
角锥棱镜 尺寸（H*W*D)：13*30*15
光电信号处理单元尺寸（H*W*D)150*450*400
键盘/显示单元尺寸（H*W*D)48*190*138
接口界面：RS-232或IEEE-488
PC插板（可选）：ISA-bus
传感器头重量（g）：200
电源：100-240VAC
光纤长度（m）：3m到25m（可选)）
工作温度范围15-30℃
*大后反射传输率（Retro-reflector Translation Rate）600mm/s
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主要工作特点： |
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高精度的长度测量仪器
易于调整，易于组成各种用户测量仪器与系统
允许角锥棱镜进行高速运动
角锥棱镜的角度允许偏斜范围大
光纤耦合的传感测头，不产生热干扰
采用防止电磁干扰的信号接收/传送元件
采用高精度稳频的He-Ne激光作为长度基准
对环境因素引起的激光波长变化进行修正
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