上海朝辉压力仪器有限公司

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主营：压力传感器、压力变送器、高温熔体压力变送器、高温熔体压力传感器、隔膜压力表、液位变送器、车载称重传感器、汽车称重,多维力传感器、KELLER传感器、差压变送器、温度传感器、爆破阀

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【MEMS压力传感器】

发布时间：2015-08-24

上海朝辉【MEMS压力传感器】按原理分，有电容型、压阻型，压电式，金属应变式，光纤式等。重点介绍硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器，两者都是在硅片上生成的微机电传感器。

【MEMS压力传感器】是采用高精密半导体电阻应变片组成惠斯顿电桥作为力电变换测量电路的，【MEMS压力传感器】具有较高的测量精度、较低的功耗，极低的成本。惠斯顿电桥的压阻式传感器，如无压力变化，其输出为零，几乎不耗电。

【MEMS压力传感器】采用周边固定的圆形的应力杯硅薄膜内壁，采用MEMS技术直接将四个高精密半导体应变片刻制在其表面应力*大处，组成惠斯顿测量电桥，作为力电变换测量电路，将压力这个物理量直接变换成电量，其测量精度能达0.01%~0.03%FS。【MEMS压力传感器】上下二层是玻璃体，中间是硅片，硅片中部做成一应力杯，其应力硅薄膜上部有一真空腔，使之成为一个典型的绝压压力传感器。当外面的压力经引压腔进入传感器应力杯中，应力硅薄膜会因受外力作用而微微向上鼓起，发生弹性变形，四个电阻应变片因此而发生电阻变化，破坏原先的惠斯顿电桥电路平衡，产生电桥输出与压力成正比的电压信号。