其实真空表是压力表的一种,
真空表一般用于负压的地方。
直接检测真空计 这种真空计直接检测单位面积上的力,有:
(1)静态液位真空计:利用U型管两端液面差来检测压力。
(2)弹性元件真空计:利用与真空相连的容器表面受到压力的作用而产生弹性变形来检测压力值的大小。
间接检测真空计 压力为10-1Pa时,作用在1cm2表面上力只有10-5N,显然检测这样小的力是困难的。但可根据低压下与气压力
关的物理量的变化来间接检测压力的变化。属于这类的真空计有:
(1)压缩式真空计:其原理是在U型管的基础上再应用波义耳定律,即将一定量待测压力的气,经过等温压缩使之压力增加,以便用
U型管真空计检测,然后用体积和压力的关系计算被测压力。
(2)热传导真空计:利用低压下气热传导与压力有关这一原理制成。常用的有电阻真空计和热偶真空计。
(3)热辐射真空计:利用低压下气热辐射与压力有关原理。
(4)电离真空计:利用低压下气分子被荷能粒子碰撞电离,产生的离子流随电力变化的原理。如:热阴极电离真空计、冷阴极电离
真空计和放射性电离真空计等。
(5)放射管指示器:利用气放射情况和放**色与压力有关的性质判定真空度,一般仅能作为定性检测。
(6)粘滞真空计:利用低压下气与容器壁的动量交换即外摩擦原理。如振膜式真空计和磁悬浮转子真空计。
(7)场致显微仪:以吸附和解吸时间与压力关系计算压力。
(8)分压力真空计:利用质谱技术进行混合气分压力检测。常用的有四极质谱计、回旋质谱计和射频质谱计等。