图5.8高效颗粒搜集过滤器（HEPA） Dirty Air脏空气 Clean Air净空气
图5.9空气层流立式工作台截面图 Blower鼓风机 HEPA Filter HEPA过滤器 Prefilter前级过滤器 Shield挡板 Air Flow空气流 Work Surface工作台面
这两种工作台按两种方法来保持晶圆清洁：首先是工作台内的空气净化；其次，净化过程在工作台内产生一点空气正压，正压可防止由操作员与走廊产生的污染物进入工作台。 使用化学溶液的工艺需要对VLF式工作台进行特殊设计（见图5.10）,这种工作台必须接有空气排风，以吸收化学溶液蒸汽，因为蒸汽会产生**及污染的危险。在这种设计下，必须平衡VLF与排风中的空气流，来维持工作台的洁净级别数。而且还要求晶片需存放在工作台中相对较洁净的前部。 净化工作台的方法还可应用于现代晶圆加工设备中。在每台设备上安装VLF或HLF式工作台来保持晶圆在装卸过程中洁净。