美国联邦标准FS209E中的洁净等级
等级名称
等级限值
0.1μm
0.2μm
0.3μm
0.5μm
5μm
容积单位
国际单位
英制
单位
m3
Ft3
M1.0
350
9.91
75.7
2.14
30.9
0.875
10
0.283