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产品资料

PBZ-CL007V边缘检测传感器

PBZ-CL007V边缘检测传感器
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  • 产品名称:PBZ-CL007V边缘检测传感器
  • 产品型号:PBZ-CL007V
  • 产品展商:其它品牌
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简单介绍
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产品描述
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概要PBZ激光传感器采用平行激光束和一个CMOS线性图像传感器专长检测薄膜、晶圆或玻璃基板的边缘位置。
  • FDN算法
    高精度的边缘检测*1
     
  • 针对检测面污垢会影响检测精度的课题,配置了线性图像传感器和光量衰减报警功能。
     
  • 透明物体检测用算法
    可稳定检测透明物体。
     
  • 标准双通道输入控制器
    可进行双检测值运算,减少布线工作量,节省空间。
     
  • RS-485通信(仅对应PBC-201VN2/PBC-203VN2) 可将数据传输至PLC及触摸界面。
     
  • **性能
    JIS 1级光束。不需要任何特别保护措施。
     
  • 多功能
    可忽略薄膜不规则部分的干扰消除功能*2
    玻璃基板对准时倾斜度θ计算功能*3
    通过位置变化检测功能可检测出玻璃基板上的缺口和裂痕*3
     

*1. 重复精度:PBZ-CL007V:±1 μmax.,PBZ-CL030H/V:±5 μmax.
*2. **于 PBC-201VN0/2
*3. **于 PBC-203VN2


测定内容
控制器型号 边缘位置测定
(透明体或不透明体)
遮光宽度测定
间隙测定
7 mm传感器头用PBC-201VN0
7 mm传感器头用PBC-201VN2
30 mm传感器头用PPBC-203VN2



重复精度 ±1 μm* — 准确检测出真实的边缘位置
FDN算法是一种对于任意的工作距离(WD)都能准确地计算出真实的边缘位置的算法。

*PBZ-CL007V的重复精度为±1 μm,PBZ-CL030H/V的重复精度为±5 μ。检测条件请参照规格。

  • 菲涅尔衍射
    光射在刀片或薄膜等薄型物体边缘处会发生衍射。受光部衍射光的强度分布取决于受光器与薄型物体之间的距离(WD)。



不受检测面污垢引起的受光光量衰减的影响
受光单元采用线性图像传感方式,不受检测面污垢的影响,实现高精度的检测。并且,
配置了“光强度衰减报警功能”,到了维修时期便会发出警报。

  • 传统方式(PD)
    因遮光引起受光量的减少,使PD的线性输出发生变化。这种传统的PD方式,由于受光面污垢(或检测物透明度)造成受光光量衰减,使输出值发生变化。所以,为了防止污垢,需要进行空气吹扫。
     
  • 本公司的线性图像传感方式
    根据各像素的亮度信息,测出遮光宽度。即使受光光量衰减,只要线性图像传感器的入光量不变,边缘位置的输出值就不会变化。




干扰消除功能
不检测标签等凸起物,只检测薄膜的边缘。
将当前的测定值与设定时间(输出延迟时间)前的数值进行比较,如果变化量超过了设定值(跳读设定值),则保持变化前的数值并将其模拟输出。




θ演算功能
根据玻璃边缘的位置变化,演算倾斜度θ后输出。测量范围:±3°。



缺口检测功能(位置变化输出)
设定位置变化时间(T)和位置变化量(L),如果变化量超过设定的倾斜度,进行数字(DO)输出。


应用

  • 检测晶圆的偏芯和缺口位置
    能够稳定检测透明度高的玻璃晶圆或砷化镓晶圆。并且,由于采用了线性图像传感方式,因此还能越过视孔进行检测。

  • 检测薄膜蜷曲
    通过使用2对传感器探头计算传感器探头间的输出值,可同时检测薄膜蜷曲和薄膜宽度。


  • 检测薄膜和薄片厚度



  • 检测玻璃基板凹凸和裂痕
    利用位置变化检测功能,可检测到传送带上的玻璃基板边缘的缺口和裂痕。


  • 测定玻璃基板的XYθ
    利用3对传感器,除了能计算玻璃基板的X和Y值外,还能通过内部演算计算出θ值。



规格
 
平行激光束类型
传感器
控制器
传感器
控制器
型号
PBZ-CL007V
PBC-201VN0
PBC-201VN2
PBZ-CL030H
PBZ-CL030V
PBC-203VN2
检测宽度
7 mm
30 mm
测定距离
10 - 300 mm
10 - 500 mm
工作距离(WD)
10 - 290 mm
10 - 490 mm
移动精度
±20 μm *大*1
±50 μm *大*3
重复精度
±1 μm *大*2
±5 μm *大*4
模拟输出更新周期
500 μs
10 ms
传感部温度特性
0.1 % FS/°C
0.1 % FS/°C
使用温度范围
0 - 45°C
使用湿度范围
30 - 85 % RH
电源电压
24 Vdc ± 10 %
24 Vdc ± 10 %
模拟输出
1 to 5 Vdc 或 ±5 V: 2 输出
1 to 5 Vdc 或 ±5 V: 2 输出
事件输出
同步型晶体管输出:4 点
同步型晶体管输出:4 点
外部输入
2
2
数字显示
7段4位
7段4位
光源
可视半导体激光: JIS 1级
可视半导体激光: JIS 1级
保护结构
IP40
IP40
通信
RS-485
RS-485
传感器探头与控制器间的缆线总长度
*大 5 m
*大 30 m
上述规格是检测物体和边缘方向被设定为“不透明体TOP”或“不透明体BOTTOM”时的数据。其他设定时,请与本公司联系。

*1. 投受光器间距离=20 mm,工作距离=10 mm,检测物位置=从测定宽度中心位置移动±0.5 mm时。
*2. 投受光器间距离=20 mm,工作距离=10 mm,检测物位置=从测定宽度中心位置移动±3.5 mm的条件下,重复20次的平均值。
*3. 投受光器间距离=100 mm,工作距离=50 mm,检测物位置=从测定宽度中心位置移动±0.5 mm时。
*4. 投受光器间距离=20 mm,工作距离=10 mm,检测物位置=从测定宽度中心位置移动±15 mm的条件下,重复20次的平均值。
工作距离(WD): 受光器与检测物之间的距离


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