MOCVD是高亮度LED芯片生产过程中*关键的设备,因设备技术难度高、开发周期长以及国内产业化起步晚等原因,市场主要被欧美企业所垄断。
近年来,随着高亮度LED在户外显示、液晶面板背光、汽车应用等领域渗透率的不断提高,特别是半导体照明市场的启动,对量产型MOCVD设备的需求呈现出爆发性的增长,全球年需求达数百台、市场规模数十亿美元。
我国LED外延芯片与封装在规模和品质上都取得了举世瞩目的成就,产品国产化比例显著提升,但关键装备特别是量产型MOCVD仍然依靠进口,生产成本居高不下,严重制约着LED产业的发展。因此开发出更高性价比的国产商业化MOCVD设备是海峡两岸LED外延芯片企业的迫切要求。
2010年9月,理想能源启动MOCVD项目,在两年时间里,理想能源技术团队设计开发出了具有自主知识产权的MOCVD设备,并完成了**代单腔体独立设备和高产出率的簇式生产系统的生产组装,成功地实现GaN基LED外延片的发光。
经过设备原型机近1年的运行证明其性能达到预定指标,于2012年5月通过上海市科委的验收。依据工艺验证结果和客户反馈,在**代原型机的基础上开发出**代量产型MOCVD设备,单腔一次可生产84片2英寸外延片,超过主流进口设备。