半导体工业需要大量的超纯水，随着半导体工业的发展，对超纯水水质的要求日趋严格。
上海市生态环境局近期发布《半导体行业污染物排放标准》。
上海市地方污染物排放标准目录
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序号
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标准号
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标准名称
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被修订标准号
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发布日期
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实施日期
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1
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DB31/374-2024
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半导体行业污染物排放标准
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DB31/374-2006
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2024年2月29日
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2024年5月1日
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注：以上标准可登陆上海市生态环境局网站（https://sthj.sh.gov.cn）查询。
水方面，标准设置了21项水污染物控制项目。
其中，二类污染物14项，增加了石油类、总氮、总磷、阴离子表面活性剂4项常规因子及总锌特征因子，删除了BOD5。
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