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激光共聚焦显微镜在晶体硅太阳能电池中的应用

激光共聚焦显微镜技术被应用在生物医学领域,用于细胞标本的平面图像和三维(3D)数据采集。“共聚焦”通过聚焦的激光对样品进行扫描,这种方法可以排除焦点意外的部分反射光干扰,使侧向和轴向的分辨率提高。LSCM的测量方法可以达到0.001μm甚至更精细的分辨率水平,普通宽视野光学显微镜*大理论分辨率为0.2μm,透射电子显微镜分辨率可以到达0.1nm,LSCM介于这两种常用的形态学技术之间,应用于半导体、光伏电池领域具有很多独特的优势。

激光共聚焦显微镜在晶体硅太阳能电池中的应用尤为突出,尤其是近几年世界科学领域逐渐向太阳能延伸拓展。晶体硅太阳能电池,即光伏电池主流产品的一种,从90s开始在国内及全球有了大规模的生产和逐步应用,很多光伏公司曾经涉足“全产业链”模式生产,因此是涵盖了集化工、材料、半导体于一体的多元集成行业。其中电池生产过程,虽然涉及技术仅仅是通常所述的半导体(Semiconductor)技术的缩略版,但其中环节众多,影响因素复杂多变,关注各环节的质量指标就成为必要,因此也涉及众多的测量分析手段。如针对硅片电阻率测量、碳/氧傅里叶变换红外含量、硅片表面形貌显微测量、发射极方块电阻测量、电池量子效率测量等等。其中,晶体硅电池基于180μm左右的硅基体薄片上进行电池制作,因此在纵向上涉及到的工艺过程都是在微米甚至亚纳米尺度范围,所以在这一尺度范围内的二维(2D)轮廓、三维(3D)层次测量和分析就成为贯穿电池生产始终的项目。