Nanofocus μsprint提供全自动晶圆检测技术。
在工业4.0的大背景下，整合的相互关联的过程链成为全球工业化生产的趋势。与此同时，对产品质量的要求也越来越高。在这种条件下，无需人工干预的自动化检测技术在品质保证体系中的地位愈发重要。除传统的3D显微系统外，nanofocus亦能提供在线表面形貌测量系统。通过选配各种自动化组件，该系统可以灵活的集成至相关生产控制系统中。
可靠的测量数据提供关于产品品质的信息，这是生产过程控制所必须的。Nanofocus的全自动3D共聚焦表面测量系统可以直接集成在产线中并提供100%的品质控制。它同样可以应用于产线之外进行抽样检测（单个或连续测量）。
通过Nanofocus的自动化软件μsoft，可以轻易地对客户具体测量要求和复杂的评估指标进行配置。测量结果直接在预先定义的评估协议中进行评估或者通过各种数据接口（例如SECS-GEM接口）进一步输出到相关软件。用户可以对结果进行名义值与实际值对比，或者输出至qs-STAT，Matlab及SPC-charts等进行进一步分析。晶圆示意图输入，光学字符识别，分布式数据管理和条码阅读功能等可以完全满足工业化生产的要求。
得益于基准识别，自动对齐和测量范围追踪等特性，使得μsprint可以自动连续测量而无需人工干预。测量数据和分析结果以*佳文档形式长久保存在分析数据库中，并可用于统计过程控制。
Nanofocus为各个领域的众多知名用户提供自动测量系统。例如半导体生产行业中的晶圆全自动检测，医疗行业中的骨关节植入和牙齿的植入，以及汽车配件行业的微焊接和临界表面的检测。