NanoFocus μsurf explorer共聚焦显微镜采用多孔共聚焦技术，结合CCD的影像摄取，以有许多孔洞的旋转盘取代侦测器的孔洞，再将物镜垂直移动，以类似断层摄影方式，可在短时间(约几秒)内**量测物体的三维数据。其测量方式是非接触式，不会破坏样品的表面，不需要在真空环境下测量，也可以用共聚焦显微镜测量的功能来观测样本，其在严酷的工作环境下，也能正常使用。
以下为NanoFocus μsurf explorer共聚焦显微镜部分样品检测效果图：