精准的粗糙度轮廓曲线是NanoFocus共聚焦测量技术的核心。在工业应用领域，兼容符合标准的接触式粗糙度测量方式非常重要。
众多的科学和工业研究清楚地表明，NanoFocus系统完全满足*高标准，并可与接触式粗糙度仪等技术无任何冲突匹配使用。NanoFocus设备的校准基于接触式粗糙度测量技术的认证标准。轮廓和表面数据符合国际标准-例如ISO 25718.
光学共聚焦技术在微米和纳米级的表面形貌技术领域拥有诸多优势。与扫描电子显微镜不同，共聚焦表面测量能提供真实的表面三维信息（x,y,z），这种定量信息使得**的3D参数得以提取，并使进一步的处理和分析成为可能。此外，无需样品制备。与原子力显微镜相比，光学显微镜有几个明显的优势，例如更大的测量范围，更快的速度，非接触式操作等。SEM和AFM相较于光学显微镜的水平分辨率优势在很多应用中被证明并非实际需要。