白光干涉仪普遍应用在众多行业检测中,对于现代越来越复杂的工艺检测,也是心有余而力不足,德国NanoFocus AG研发的3D共聚焦显微镜的诞生,二者之间的区别优劣势有哪些呢？
白光干涉仪优点：
1.大范围测量（数平方毫米）
2.Z轴分辨率能达到0.1nm，水平分辨率0.3μm
3.快速测量，10s以内，但测量前需校正倾斜度
NanoFocus 3D共聚焦显微镜：
Z轴分辨率为1nm，没有白光干涉仪高，但是测量到亚微米及以上尺寸时精度和白光干涉基本相同。
白光干涉仪的问题点:
检测到陡峭角度*大83°——共焦测距系统，它利用白光反射强度可以测量有大角度特性的形状，并且不会有噪点形状。
a)受表面反射率限制——如果表面反射度不好，测量是难以执行，因此，很多样品并不能测量。如果反射光在参考面和测量面有巨大差异，那么样品也是不能测量的。（反射率必须大于4%的样品才能测量）