产品简介:SF6气体抽真空及回充装置
产品选型:SF6气体抽真空及回充装置
产品型号
真空泵速率(L/s)
极限真空
(pa)
抽真空时间(s)
30L
60L
180L
300L
600L
1200L
JL2018-15
15
≤6*10-2
2
4
12
20
40
80
170L
340L
680L
1360L
2700L
5400L
JL2018-85
85
≤5*10-2