日本三丰粗糙度仪Formtaracer Extreme(超级表面粗糙度/轮廓测量装置）
三丰表面粗糙度仪 CS-5000CNC / CS-H5000CNC
525系列粗糙度仪--CNC形状测量仪
日本三丰粗糙度仪特点：
·三丰粗糙度仪高精度探针形CNC表面测量仪可以同时进行表面粗糙度和形状/轮廓的测量。
·三丰粗糙度仪X1轴和Z2轴的*大驱动速度分别为40mm/s和200mm/s，可以高速定位，从而提高了多重轮廓/多工件
测量的效率。
·三丰粗糙度仪X1轴和Z1轴上装有三丰激光全息光栅尺,从而可以实现高分辩率(X1轴分辨率：6.25nm,Z1轴分辨率：
4nm/8nm)的轮廓/形状测量、表面粗糙度的测量和批次测量。
·三丰粗糙度仪Z1轴检测器采用主动控制方式，减少了Z1轴动态测力变化的同时扩展了测量范围。
·三丰粗糙度仪Z1轴检测器检测集成了防碰撞**装置，当仪器主体与工件或夹具发生碰撞时，检测装置可以自动
停止工作。
·三丰粗糙度仪带有а轴的型号，可以通过电动旋转×1轴连续测量水平面和倾斜面。
·三丰粗糙度仪带有Y轴工作台的型号，可沿Y轴进行多工件定位，从而增加了多工件测量范围。
·三丰粗糙度仪提供易于操作的摇控箱，用户可以通过这两个操纵杆选择合适的轴进行移动。在按键上标有易于理
解的图形显示轴的选择状态。
·三丰粗糙度仪通过USB端口与数据处理/分析装置（选件）进行信息交换。
性能参数
粗糙度仪型号 粗糙度仪CS-5000CNC CS-5000CNC粗糙度仪 CS-5000CNC粗糙度仪 CS-5000CNC粗糙度仪
货号（100V-120V） 525-721-1粗糙度仪 525-722-1粗糙度 525-723-1粗糙度 525-724-1粗糙度
货号（200V-240V） 525-721-2粗糙度仪 525-7221-2粗糙度 525-7231-2粗糙度 525-7241-2粗糙度
X1轴测量范围 200mm粗糙度仪 200mm粗糙度 200mm粗糙度 200mm粗糙度
Z2轴垂直行程 300mm粗糙度仪 300mm粗糙度 300mm粗糙度 300mm粗糙度
Y轴工作台装置粗糙度 已安装 已安装
а轴装置粗糙度 已安装 已安装
型号 CS-5000CNC CS-5000CNC CS-5000CNC CS-5000CNC
货号（100V-120V） 525-741-1粗糙度 525-742-1 525-743-1 525-744-1
货号（200V-240V） 525-741-2粗糙度 525-742-2 525-743-2 525-744-2
X1轴测量范围 200mm粗糙度 200mm 200mm 200mm
Z2轴垂直行程 500mm粗糙度 500mm 500mm 500mm
Y轴工作台装置 已安装 已安装
а轴装置 已安装 已安装
粗糙度仪型号 粗糙度仪CS-5000CNC 粗糙度仪CS-5000CNC
货号（100V-120V） 525-761-1粗糙度仪 525-763-1
货号（200V-240V） 525-761-2粗糙度仪 525-763-2
X1轴测量范围 200mm粗糙度仪 200mm
Z2轴垂直行程 300mm粗糙度仪 300mm
Y轴工作台装置
а轴装置 已安装
粗糙度仪型号 粗糙度仪CS-5000 粗糙度仪CS-5000L
货号（mm) 525-886* 525-905*
货号（inch) 525-896* 525-915*
X1轴测量范围/分辨率 200mm/6.25nm 200mm/6.25nm
Z1轴测量范围/分辨率 标准探针 6mm/2mm 12mm/4mm
二倍长型探针 12mm/4mm 24mm/8mm
Z2轴垂直行程 250mm 250mm
X1轴直线度（L为驱动长度mm) 标准探针 (0.05+0.5L/1000)µm (0.05+0.5L/1000)µm
二倍长型探针 (0.1+0.5L/1000)µm (0.1+0.5L/1000)µm
指示精度（20°C)（L为驱 X1轴 ±(0.2+L/1000)µm ±(0.2+L/1000)µm
动长度mm,H为测量高度mm) Z1轴 ±(0.2+|H|/100)µm ±(0.3+|2H|/100)µm
*为区分交流电源电压，在货号后加上以下后缀（如：525-886A):
A适于UL/CSA，D适于BS，DC适于中国，K适于EK， 无后缀适于JIS/100V
粗糙度仪技术参数：
X1轴
粗糙度仪测量范围： 200mm
粗糙度仪分辨率： 0.00625µm
粗糙度仪测量方法： 激光全息光栅尺
粗糙度仪驱动速度: *大40mm/s(CNC模式），0-40mm/s（操纵杆控制模式）
粗糙度仪测量速度： 0.02-0.2mm/s（表面粗糙度），0.02-2mm/s（形状/轮廓）
粗糙度仪测量方向： 向前/向后
粗糙度仪直线度： （0.1+0.0015L）µm、使用标准探针，（0.2+0.0015L）µm、使用二倍长型探针
粗糙度仪直线度： （0.05+0.0003L）µm、使用标准探针，（0.2+0.0015L）µm、使用二倍长型探针
指示精度（20°C）： ±（0.3+0.002L）µm
指示精度（20°C）： ±（0.16+0.001L）µm（L为驱动长度mm)
Z1轴
粗糙度仪测量范围： 12mm(标准探针）、24mm(二倍长型探针）
粗糙度仪分辨率： 0.004µm（标准探针）、0.008µm（二倍长型探针）
粗糙度仪探针上/下动作： 弧型运动
粗糙度仪测量方法： 激光全息光栅尺
粗糙度仪指示精度（20°C）： ±（0.3+|0.02H|）µm
粗糙度仪指示精度（20°C）： ±（0.07+|0.02H|）µm
粗糙度仪测力： 4mN(标准探针）、0.75mN(二倍长型探针）
粗糙度仪跟踪角度： 向上60°、向下60°（取决于表面粗糙度）
粗糙度仪探针针尖： 半径：5µm, 角度：40°、钻石 （球型探针：半径0.25µm, 蓝宝石）
粗糙度仪探针方向： 向下
Z2轴（立柱）
粗糙度仪测量范围： 300mm(500mm:高立柱型）
粗糙度仪分辨率： 0.05µm
粗糙度仪测量方法： 反射型光栅尺
粗糙度仪驱动速度: *大200mm/s(CNC模式），0-50mm/s（操纵杆控制模式）
粗糙度仪基座尺寸（W×D）： 750×600mm
粗糙度仪基座材料： 花岗岩
尺寸（W×D×H）： 800×620×1000mm (高立柱型：800×620×1200mm)
粗糙度仪重量： 240kg( 高立柱型：250kg)
*CS-H5000CNC
