产品名称：半导体材料气体检测设备 半导体材料气体分析仪 半导体材料气体测定仪

特点： 
只要更换传感器单元就可以检测各种对象气体。 
用盒式传感器单元无需进**体检测器校正。 
可以大幅度削减成本和维护时间 
检测原理 
定电位电解式 

检测气体对象 
半导体材料气体 

测量范围 
根据规格 

分 解 能 
全量程的百分之一表示 

指示精度 
FS±10%以内 

报警模式 
2段报警方式 

报警方式 
蜂鸣器(断续音)、报警灯闪烁 

应答时间 
60秒以内(60%应答) 

电 源 
5号碱性干电池4节或AC专用变压器 

电池使用时间 
连续12小时以上（使用碱性干电池无报警、20℃时） 

外型尺寸 
W62×H150×D128mm(突出部分除外) 

检测方式 
泵吸引式 

使用温度范围 
0℃～40℃ 

重 量 
约1.3kg 

附 件 
肩背皮带、5号碱性干电池4节、过滤纸2张 

选 购 件 
AC专用变压器、传感器专用通电台、数据收集配套元件 


检测气体一览表： 


对象气体一览表 
型号 
气体 
F.S 
型号 
气体 
F.S 
型号 
气体 
F.S 

XDS-7NH 
NH3 
100ppm 
XDS-7GH 
GeH4 
1ppm 
XDS-7HS 
H2S 
50ppm 

XDS-7SH 
SiH4 
25ppm 
XDS-7CL 
CL2 
5ppm 
XDS-7CO 
CO 
250ppm 

XDS-7DC 
SiH2CL2 
25ppm 
XDS-7CF 
CLF3 
1ppm 
XDS-7DS 
Si2H6 
25ppm 

XDS-7AH 
AsH3 
250ppb 
XDS-7HC 
HCL 
25ppm 
XDS-7F2 
F2 
5ppm 

XDS-7PH 
PH3 
1ppm 
XDS-7HF 
HF 
10ppm 
XDS-7OZ 
O3 
1ppm 

XDS-7BH 
B2H6 
500ppb 
XDS-7HB 
HBr 
10ppm 


XDS-7SE 
H2Se 
250ppb 
XDS-7NO 
NO 
100ppm 
半导体材料气体检测设备 半导体材料气体分析仪 半导体材料气体测定仪