特点
• Z 轴装有数显弧形标尺，可以提供更大的测量范围和更高的分辨率，从而不必再依靠测量倍率。
• 可以应用数据分析系统(个人计算机和Formpak-1000 软件) 。
技术参数
X1轴
测量范围: 50mm (CV-1000) 或 100mm(CV-2000)
分辨率: 0.2μm
检测方法: 反射型线性编码器
驱动速度: 0.2, 1mm/s 和手动
测量速度: 0.2, 0.5mm/s
移动方向: 向后
直线度: 3.5μm/50mm (CV-1000),3.5μm/100mm (CV-2000)
*当X 轴在水平方向上
指示精度: ±(3.5+2L/100)μm * L 为驱动长度(mm)
倾斜范围: ±45° (CV-2000)
Z2轴(立柱，仅用于CV-2000)
立柱类型: 电动(S4 型) 和手动(M4 型)
垂直行程: 250mm (S4 型), 320mm (M4 型)
分辨率: 0.2μm (S4 型)
检测方法: ABSOLUTE 线性编码器 (S4 型)
驱动速度: 0 - 5mm/s 和手动
Z1轴 (检测器)
测量范围: 25mm (CV-1000) 或 40mm (CV-2000)
分辨率: 0.4μm (CV-1000) 或 0.5μm (CV-2000)
检测方法: 弧形编码器
指示精度: ±(3.5+I4HI/25)μm (20°C时，*H 为水平位置上的测量高度 (mm))
测针上／下运作: 弧形运动
测针方向: 向下
测力: 10 - 30mN
跟踪角度: 向上：77°、向下：87°
