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超净工作台的校准方法

1超净工作台检漏向高校空气过滤器上游侧发冷烟，用采样器在高效过滤器下游例约2.5cm处检漏仪进行巡检扫描，巡检速度小于等于5cm每秒，当下游侧浓度与上游侧浓度的比大于0.01%时，则认为超净工作台有明显泄露，应进行堵漏。

2超净工作台洁净度

采样时采用28.3/min的尘埃粒子计数器，也可采用小流量尘埃粒子计数器，但采样量得小于1升，当吸风口处的气溶胶浓度达到稳定条件下，在距主过滤器或整流格珊出口250mm的平行断面的中心处连续测试5次求其平均值。

3超净工作台风速

在主过滤器或扩散板下游10cm处的平面，把该平面面积分成不得少于12等分面积，各面积中心点为风速测试点，各测试点之间距离不宜大于25cm，用热球风速仪或热敏电阻风速仪来测量各点风速，取平均值为截面风速。

4超净工作台噪声

测试噪声的环境在室内比较开阔的、教硬实反射地面上进行测量。设备操作区开口处若设有挡板应全部开启，特别注意避免气流产生的风压、振动等带来的影响。噪声测量点应布置在工作台中心，距台面前沿20厘米处，高度为110厘米，共侧四次，取平均值为测量结果。

5超净工作台振动

洁净工作台应放置在振动比较小的地面上，避免周围环境的影响，工作台在正常运行环境下将振动分析计的拾振器放置于操作面的几何中心，测出x,y,z三个轴向的总振福值。

6超净工作台照明

在正负1.5%以内，100nv量程的频响误差相对较大，测量重复性也相对偏低。

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