能量散射X射线荧光光谱法（EDXRF）作为镀层厚度测量和材料分析的方法，可用来定量和定性分析样品的元素组成，也可用于镀层和镀层系统的厚度测量。无论是在实验室还是工业生产环境中，这一方法都能**胜任，并还可以与现代化设备一起发挥作用。
EDXRF作为一种常用测试方法，有着其突出的优势。它几乎可以测量所有工艺相关元素，并且工作时无损且不接触样品。测量时间一般在数秒钟内，很少多于一分钟。通常不需要复制的样品制备，即可进行快速测量。利用该方法，可以同时测量均质材料及镀层的厚度和化学成分。不仅如此，EDXRF方法检测各种类型样品里的微量有害物质。 此外，X射线荧光分析是一种清洁的测量方法，测量过程不使用任何化学制品。由于有着合理精巧的设计，X射线不会对操作人员和环境构成任何威胁。
原理： X射线荧光分析基于以下物理现象：样品材料中的原子由于受到初级X射线轰击，从而失去内层轨道中的某些电子。失去电子所留下的空穴会被外层电子来填补，在填补的过程中，会产生每个元素特有的特征X射线荧光。接收器探测到该荧光射线后，便能提供样品的材料组成等信息。
应用： 由于能量色散X射线荧光光谱法可以分析材料成分和测量薄镀层及镀层系统，因而应用广泛：
1、在电子和半导体产业里，测量触点上薄金，铂和镍层厚度或痕量分析。
2、在钟表和珠宝行业或采矿精炼工业中，**分析贵金属合金组分。 3、在质量管控和来料检验中，需要确保产品或零部件完全满足材料设计规范。如在太阳能光伏电池产业中，光伏薄膜的成分组成和厚度大小决定了光伏电池的效率。在电镀行业中，则需要测量大批量部件的厚度。
4、对于电子产品的生产者和采购者，检验产品是否符合《限制在电子电气产品中使用有害物质的指令》（RoHS指令）也是十分关键的。 5、在玩具工业中，也需要有可靠的有害物质检测手段。
X射线荧光法（XRFA）的优点： 1、快速无损的镀层厚度测量（单层或多镀层）
2、分析固态，粉末或液态样品 3、有害物痕量分析
4、高精度和准确度 5、十分广泛的应用
6、准确测量基材是磁性和导电的材料 7、样品制备非常简单
8、测试方法**，没有使用危害环境的化学制品 9、无耗品，物超所值