德国菲希尔X射线测厚仪FISCHERSCOPE® X-RAY XDLM 231/232/237
X射线荧光测厚仪及光谱仪,采用手动或自动方式,测量和分析印刷线路板、电气元件及大规模生产零部件上的镀层。
德国菲希尔X射线测厚仪FISCHERSCOPE® X-RAY XDLM是一款应用广泛的能量色散型x射线光谱仪。它是从已广受认可的FISCHERSCOPE X-RAY XDLM-C4型仪器上发展而来的。与上一代相类似,德国菲希尔X射线测厚仪FISCHERSCOPE® X-RAY XDLM尤其适合无损测量薄镀层厚度及材料分析,同时还能全自动测量大规模生产的零部件及印刷线路板。比例接收器能实现高计数率,这样就可以进行高精度测量。为了使每次测量都能在*优的条件下进行, 仪器配备了可电动调整的多种准直器及基本滤片。由于采用了菲希尔基本参数法,无论是镀层系统还是固体和液体样品,都能在没有标准片的情况下进行准确分析和测量。可测量的元素范围从氯(17)到铀(92)。
XDLM型X射线光谱仪有着出色的长期稳定性,这样就不需要经常校准仪器了。德国菲希尔X射线测厚仪FISCHERSCOPE® X-RAY XDLM 系列仪器专门是为在质量控制和生产监控中,测量分析超薄镀层和超低含量而设计的。
德国菲希尔X射线测厚仪FISCHERSCOPE® X-RAY XDLM 231/232/237
典型的应用领域有:
• 测量大规模生产的零部件
• 测量微小区域上的薄镀层
• 测量电子工业或半导体工业中的功能性镀层
• 全自动测量,如印刷线路板中各个测量点的连续自动测量.
用途: 能量色散X射线荧光光谱仪 (EDXRF) ,测量薄镀层和微小结构样品,分析合金组分。
可测量元素范围: 可测量从氯(17)到铀(92)中的元素
设计理念: 台式仪器,测量门向上开启
测量方向: 从上到下
X射线源: 带铍窗口的微聚焦钨管
高压: 三种可调高压:30 kV,40 kV,50 kV
孔径(准直器): 4个可切换准直器:标准型(523-440):圆形Ø 0.1mm;Ø 0.2mm;矩形0.05 x 0.05mm;0.2 x 0.03mm
可选 (523-366):圆形Ø 0.1mm;Ø 0.2mm;Ø 0.3 mm;矩形0.3 x 0.05 mm
可选 (524-061):圆形Ø 0.1mm;Ø 0.2mm;矩形0.3 x 0.05 mm;0.05 x 0.05mm
可按要求定制其它规格
基本滤波片: 3个可更改的基本滤片(标准型仪器:镍,铝,无)
测量区域大小:取决于测量距离及使用的准直器大小,视频窗口中显示的就是实际的测量点尺寸,使用矩形0.05 x 0.05mm准直器,*小的测量点面积约为Ø 0.1 mm。
测量距离,如样品为腔体时
0 ~ 20 mm, 校准范围,使用砖利保护的DCM功能
20 ~ 80 mm, 非校准范围,使用砖利保护的DCM功能
X射线接收器:比例接收器
视频显微镜:高分辨 CCD彩色摄像头,用于查看测量位置 ,手动或自动聚焦,十字线刻度和测量点大小经过校准,测量区域的LED照明亮度可调,激光光点用于精准定位样品。
放大倍数:20 ~180x (光学变焦:20x ~ 45x; 数字变焦: 1x,2x,3x,4x)
德国菲希尔X射线测厚仪FISCHERSCOPE® X-RAY XDLM 231/232/237
样品台
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XDLM 231
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XDLM 232
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XDLM 237
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设计理念
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固定式样品平台
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手动 X/Y平台
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马达驱动可编程X/Y平台
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*大移动距离
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-
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95 x 150 mm
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255 x 235 mm
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X/Y平台移动速度
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-
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-
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≤ 80 mm/s
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X/Y平台移动重复精度
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-
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-
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≤ 0.01 mm (单向)
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可用样品平台面积
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463 x 500 mm
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420 x 450 mm
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300 x 350 mm
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Z轴
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可电动调节
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可电动调节
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可编程
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Z轴升降距离
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140 mm
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140 mm
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140 mm
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样品*大重量
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20 kg
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20 kg
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5 kg, 降低精度可达20kg
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样品*大高度
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140 mm
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140 mm
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140 mm
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电气参数
线电压,频率:AC 115 V 或 AC 230 V 50 / 60 Hz
能耗:*大 120 W (测量头,不包括计算机)
保护等级:IP40
尺寸大小
外部尺寸:宽x深x高[mm]:570 x 760 x 650
重量:约120 kg
内部测量舱尺寸:宽x深x高[mm]:460 x 495 x146
环境条件要求
温度:测量时:10°C – 40°C / 50°F – 104°F
温度:存储或运输时0°C – 50°C / 32°F – 122°F
空气相对湿度:≤ 95 %,无结露
计算单元
计算机:带扩展卡的计算机系统
软件:标准型:菲希尔WinFTM® LIGHT
可选 :菲希尔WinFTM® BASIC,PDM®,SUPER
执行标准
CE合格标准:EN 61010
X射线标准:DIN ISO 3497和 ASTM B 568
批准:型式许可符合德国”Deutsche Röntgenverordnung-RöV“法令要求的有完善防护措施的测量仪器。
订购号
FISCHERSCOPE X-RAY XDLM 231:604-345
FISCHERSCOPE X-RAY XDLM 232:604-346
FISCHERSCOPE X-RAY XDLM 237:604-347