课题形成了有关SIMS和TOF串联质谱的新技术、新产品、新装置和计算机软件等共19项成果，其中5项已在相关领域成功应用，冷阴极双等离子气体源工艺研究等具有**性。申请国内发明**24项、国际发明**6项。发表论文29篇，其中国际刊物发表5篇。
通过该课题的实施，新建和完善了5个质谱仪器关键部件研发基地和10多个研究试验平台，培养了一批优良的质谱仪器研发人员，凝聚和造就了一支研发队伍，为今后大型**质谱仪器的自主研发奠定了基础。
地质所北京离子探针中心在课题中完成了任务书规定的大型质谱仪器研发综合平台、离子源研发试验平台和自动换样及三维微聚焦系统试验平台的搭建，一次气体离子源、自动换样系统和三维微聚焦系统以及相应的供电和自动控制系统的研发。