自20世纪90年代开始,国际上MEMS技术就在不断的发展中前进,离子注入技术及硅片定向微机电加工精度不断提升,为压力传感器的技术提供可靠保证。在许多领域中,扩散硅压力传感器与充油蕊体配套,这在一定程度上促进我国压力传感器市场的发展。
我国压力传感器市场主要集中在工业自动化控制、汽车领域,而多数都会采用扩散硅压力传感器、溅射薄膜压力传感器和应变片式压力传感器,这十多年来,我国国内厂家一直在扩散硅传感器生产和技术深度开发下大功夫。
我国西安作为在**个五年计划中重点开发的压力传感器系列城市,积极开展传感器的研发和生产,而陕西宝鸡市在省会城市西安的带动下,进行晶体管厂技术改造,并与国外企业合作成立麦克传感器公司,进行技术融合,这是我国**在扩散硅压力传感器领域开展国际合作,但**值得遗憾的是,部分**MEMS技术仍由外国厂家掌控。
总之,我国压力传感器产业要实现更高的突破,*重要的仍是自我**程度的提升,适应技术潮流,向国内国外两个市场相结合的国际大方向发展。