1.灰尘沾污光学件（如光栅、棱镜、透镜、反射镜、滤光片等）
2.光学元件被损伤，或光学元件产生的其他缺陷。（如光栅、棱镜、透镜、反射镜材料中的气泡等）
3.准直系统内部或有关隔板边缘的反射。
4.光学系统屏蔽不好。
5.热辐射或荧光引起的二次电子发射。
6.狭缝的缺陷。
7.光束孔径不匹配。
8.光学系统的相差。
9.单色器内壁黑化处理不当。
其中，光栅是杂散光的主要来源，它产生的杂散光占总杂散光的80%以上。