微量氧分析仪是对各行业中氧含量分析的一种专用仪器设备，它的应用领域涉及的范围较广，如石化、冶金、多晶硅等。主要运用燃料电池法和氧化锆这两种分析原理。在日常的仪器检测使用中，我们要采取正确的方法，如果使用方法不正确，对检测结果会造成一定影响，因此操作中对于一些问题需特别注意
1、管线材质基本上以铜质或不锈钢管线为好，次选聚四氟乙烯管。禁选乳胶管、白胶管之类管材，其气密性和材质抗渗透性太差，测量微量氧在标准测量压力下误差太大。总之，优选不锈钢管，清洗、脱脂，保持管内壁光滑洁净，对于痕量级(〈1PPMV)氧的分析，应选择内壁抛光的不锈钢管。所选择的阀门、接头，死体积应尽可能小。
2、样品气中不应含有硫化物、磷化物或酸性气体成分。这些组分会对燃料电池，特别是碱性燃料电池造成危害。
3、分析仪的配套管线应确保密封，微小的泄漏都会使环境空气中的氧扩散进来，从而使测量数值偏高。
虽然在测量中，样气压力大于环境压力，但样气中的氧是微量级的，根据法拉利定律，氧的分压与其体积含量成正比，大气中含有约为21%的氧，与以PPM计算浓度的样气的氧分压相差一万倍左右，因而气样中微量氧的分压远低于大气中的氧分压，当出现泄漏时，大气中的氧便会从泄漏部位迅速扩散进来。
还有，取样管线应尽可能短些，接头尽可能少，要保证接头及阀门密封良好，管线连接完毕后，应做气密性检查。
气密性检查的要求：0.25MPAm测试压力下，30分钟，压降不大于0.01MPA。
4、原则上，专用仪器微量氧分析仪的测量位应尽可能与测量单位接近，以避免过长的管线和过多的不确定因素，从而影响测量数据的可靠性。
5、应及时根据情况对取样管线采取绝热保温或伴热保温措施，防止样品中的水分在管壁上冷凝凝结。