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程控直流电源的校准实现及结果分析

对集成电路测试系统进行校准，就是要针对集成电路测试系统的硬件结构及参数类型，分别对有关组件进行校准。一般可以用高准确度的外接校准仪表作为校准源，通过将校准源定期送到上级计量机构重新校准，以保证标准到核心权威机构的溯源性。因此对集成电路测试系统的程控直流电源进行校准实质上是要对直流电源的激励源部分和测试响应部分的量值进行校准。可以将被校测试系统与高准确度的数字多用表连接，将测试系统所指示的量值与对应的数字多用表所复现的量值进行比较实现校准。通过数字多用表对测试系统进行计量并定期将数字多用表溯源到国家基准，从而得到一条完整的、不确定度已知的、从系统末端到国家基准的溯源链，实现集成电路测试系统程控直流电源的溯源。

斯贝克2011N压力校验台压力校验系统为具体验证系统，对该提醒程控直流电源进行了校准实践。2011N压力校验台压力校验系统是一台模拟、混合机射频集成电路测试系统，主要是针对模拟、混合信号器件和射频器件进行测试，测试系统采用了模块化的框架，集成了模拟信号模块、混合信号模块及射频子系统。2011N测试系统有4中可编程直流电源：两通道电压电流源DVI、八通道电压电流源OVI、高电压源HVS和大电流源PVI。每种模块都提供了四种工作方式：电压输出；电压测量；电流输出；压力测量。这些模块电压范围覆盖1~1000V，电流范围覆盖3mA~100A.

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