高效过滤器检漏方法汇总（二）

3.DOP粒子扫描正压检漏法

检测人员须注意规范中要求的采样时间、上游粒子浓度等参数在实际应用中的可操作性。在参与某一制药厂净化车间高效过滤器的检漏时，结合日本JIS-b-9927、美国Fedstd-209d标准，采用laskin DOP粒子发生器产生大星稳定的符合要求的微粒子，以造成上游≥0.3um粒子浓度大于或等于1×105pc/L。在过滤器上游通过压缩空气(冷发生）将DOР微粒均匀喷射在系统内，由于浓度一般大于1×105pc/L，超出检测仪器测量范围，所以在检测仪器前串联粒子浓度稀释器，使被测浓度在检测仪器测量范围。

对出厂效率为99.97%的高效过滤器检漏时，实测所得透过率应低于0.06%，即实测所得颗粒浓度小于0.06%C1 (C1为上游浓度)。粒子发生器在过滤器上游所发出的粒子浓度≥0.3um时为3.3×106pc/2.83l，对于不同风量系统，换算成下游极限浓度，如某一设计风量为

15000m3/h净化空调系统下游极限浓度1960pc/2.83l。待粒子发生器所发生气溶胶浓度稳定后，用粒子计数器对安装好的高效过滤器进行检漏试验。粒子计数器必须同时对高效过滤器外框和内表面分别进行两次扫描，过滤器上游也必须对风管中的气溶胶浓度进行两次采样测试，采样和扫面的周期必须相等，起止时间尽量要一致。

以规格为610×610高效过滤器为例，建议采用采样周期为一分钟，速率为50mm/s。检漏前用高约500mm 的围挡放在高效过滤器的四周，可以防止高效过滤器外框以外的气流形成涡流，影响扫描测试的结果。过滤器的泄漏主要原因是外框密封圈的密封效果不好，或者滤料不够平整严密。实际应用中安装泄漏主要来自于外框，外框密封条的质量与泄漏有很大关系。因此，工程上检漏时会在高效过滤器得四周加放围挡，减小风口围挡下部出口面积时，围挡内形成一定正压，如果高效过滤器安装泄漏，粒子会通过围挡往外泄漏。这时粒子计数器可按50mm/s 左右的速度在高效过滤器下25mm 处扫描1分钟，即可判断过滤器是否泄漏，这就是“正压检漏法”。对于具有大量的高效过滤器风口的净化车间来说，高效正压检漏法的测试效果与传统的内外框扫描法相当，但效率提高了一倍。以一个有60个610×610mm高效过滤器风口的净化空调系统为例，采用传统的方法扫描至少一般要两个小时，而采用正压检漏法快的话只要一个小时，节省了一半以上的时间。

4.油雾法

测试原理:尘源为油雾，“量”为含油雾空气的浊度，仪器为浊度计。以气样的浊度差来判定过滤器对油雾颗粒的过滤效率。德国规定用石腊油，油雾粒径为0.3-0.5um。中国标准规定的油雾平均直径为0.28-0.34um,对油的种类未做具体规定虽然中国标准规定可以用油雾法，但国内厂家更愿意使用同一标准规格的另一种钠焰法，只有部分生产厂家在测量过滤材料时仍使用油雾法。

5.粒子计数器法

测试原理:将含尘气流以很小的流速通过强光照明区,被测空气中的尘粒依次通过时,每个尘粒将产生一次光散射,形成一个光脉冲信号,根据光脉冲信号幅度的大小与粒子表面的大小成正比的关系,由光电倍增管测得粒子数及亮度,确定其过滤效率

6.PAO法

目的和原理:现场安装完毕以后对高效过滤器进行检漏是检查高效过滤器及配套的静压箱是否有泄漏或泄漏是否在规范允许的范围之内。如果高效过滤器装置经检漏是合格的，可以确保洁净室的**可靠的运行，此时室内洁净度仍未达标，应从洁净室的其它方面查找原因。

在被检测高效过滤器上风侧发PAO气溶胶作为尘源，在下风侧用光度计采样检测，含尘气体经过光度计时产生的散射光经光电效应和线性放大转换为电量，并由微安表快速显示，采集到的空气样品通过光度计的扩散室，由于粒子扩散引起灯光强度的差异，经测定这个光强度，光度计便可测得气溶胶的相对浓度。

上海瑞宏检测技术有限公司作为自主研发生产的洁净检测仪器厂家，已成功研发生产高效过滤检漏装置（气溶胶发生器HPM-350），并可按10万级和100万级洁净车间标准要求及国家GMP规范要求为微电子、生物医药、医院手术室、光纤光缆、食品饮料、精密仪器、半导体及新材料应用等行业提供全系列的检测仪器和技术支持，如动态监测时所需的“洁净环境在线监测系统”，静态检测时的“风量罩”“压差仪”“尘埃粒子计数器”“浮游菌采样器”等。