MICROVUExcel 650
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基本參數:
型號
MICROVUExcel651UM
MICROVUExcel651UC
MICROVUExcel652UM
Excel652UC
Excel654UM
Excel654UC
量測行程
MICROVU650x650x160mm
MICROVU650x650x250mm
MICROVU650x650x400mm
外形尺寸
MICROVU1311x1604x1608mm
MICROVU1311x1604x1788mm
MICROVU1311x1604x2088mm
重量
1530kg
1550kg
承載重量
100kg
平臺材質
鋼構
基座材質
花崗岩
傳動方式
Unique X&Y Monorail, Monorail Linear Z
電控系統
伺服系統: CNC, 滑鼠, 搖杆
電源系統
93-264 VAC, 47-63 Hz,*大10 Amp
XY 精度
Uxy=2.5+L/300μm
Uxy=2.8+L/300μm
Uxy=3.2+L/300μm
Z 精度
Ux=2.5+L/150μm
Ux=3.0+L/150μm
Ux=3.5+L/150μm
XY 重現性
2.5μm
2.8μm
3.2μm
Z 重現性
3.0μm
3.5μm
XY 加速度
1000mm/S2
Z 加速度
500mm/S2
XY 移動速度
500mm/s
Z 移動速度
150mm/s
光學尺解析度
0.1μm
影像
黑白
彩色
光源
紅光LED
白光LED
照明系統
表面光, 輪廓光,同軸光
光學系統/放大倍率
12x 光學/2.5x 數位 Zoom / 15x~1200x 放大倍率
軟體
InSpec for Windows Metrology Software(2000