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型號

MICROVUExcel651UM

MICROVUExcel651UC

MICROVUExcel652UM

Excel652UC

Excel654UM

Excel654UC

量測行程 

MICROVU650x650x160mm

MICROVU650x650x250mm

MICROVU650x650x400mm

外形尺寸

MICROVU1311x1604x1608mm 

MICROVU1311x1604x1788mm

MICROVU1311x1604x2088mm 

重量 

1530kg 

1550kg 

1550kg 

承載重量 

100kg 

100kg 

100kg 

平臺材質 

鋼構 

基座材質 

花崗岩 

傳動方式 

Unique X&Y Monorail, Monorail Linear Z

電控系統 

伺服系統: CNC, 滑鼠, 搖杆 

電源系統 

93-264 VAC, 47-63 Hz,*大10 Amp 

XY 精度 

Uxy=2.5+L/300μm

Uxy=2.8+L/300μm

Uxy=3.2+L/300μm

Z 精度 

Ux=2.5+L/150μm

Ux=3.0+L/150μm

Ux=3.5+L/150μm

XY 重現性 

2.5μm

2.8μm

3.2μm

Z 重現性 

2.5μm

3.0μm

3.5μm

XY 加速度 

1000mm/S2

Z 加速度 

500mm/S2

XY 移動速度 

500mm/s

Z 移動速度 

150mm/s

光學尺解析度 

0.1μm

影像 

黑白 

彩色 

黑白 

彩色 

黑白 

彩色 

光源 

紅光LED

白光LED

紅光LED

白光LED

紅光LED

白光LED

照明系統 

表面光, 輪廓光,同軸光 

光學系統/放大倍率 

12x 光學/2.5x 數位 Zoom / 15x~1200x 放大倍率 

軟體 

InSpec for Windows Metrology Software(2000