产品特性
采用白光共聚焦色差技术,可获得纳米级的分辨率
测量具有非破坏性,测量速度快,精度高
测量范围广,可测透明、金属材料,半透明、高漫反射,低反射率、抛光、粗糙材料(金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿…);
尤其适合测量高坡度高曲折度的材料表面
不受样品反射率的影响
不受环境光的影响
测量简单,样品无需特殊处理
Z方向,测量范围大:为27mm
主要技术参数
扫描范围:150mm×150mm(*大可选600mm*600mm)
扫描步长:0.1μm
扫描速度:20mm/s
Z方向测量范围:27mm
方向测量分辨率:2nm
产品应用
MEMS、半导体材料、太阳能电池、医疗工程、制药、生物材料,光学元件、陶瓷和先进材料的研发。
沪公网安备 31010402004488号