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产品资料

岛津 表面分析扫描探针显微镜 OLS4500 纳米检测显微镜

岛津 表面分析扫描探针显微镜 OLS4500 纳米检测显微镜
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  • 产品名称:岛津 表面分析扫描探针显微镜 OLS4500 纳米检测显微镜
  • 产品型号:OLS4500 纳米检测显微镜
  • 产品展商:岛津
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简单介绍
概述OLS4500提供新的解决方案OLS4500提供新的解决方案实现了无缝观察和测量多功能显微镜的独特性能跟从向导画面的指示,可轻松操作的6种SPM测量模式非接触式测量微小区域的表面粗糙度应用实例系统外观
产品描述

从毫米到纳米的超大范围观察和测量自由切换多种显微镜观察模式

OLYMPUS LEXT OLS4500是结合了传统光学显微镜、激光扫描显微镜(LSM)以及扫描探针显微镜(SPM)功能的一体机。LEXT OLS4500可以满足不同样品的观测需求,是一台新时代的观察、测量装置。

LEXT OLS4500可以轻松实现从毫米到纳米的观察和测量,放大倍率由几十倍到高达百万倍。找到观测目标(观察对象)后,您可以在光学显微镜模式、激光显微镜模式和探针显微镜模式之间自由切换,而不用担心目标丢失。并且您可以使用探针显微镜迅速而正确的完成观察,大大缩短了获取影像的时间。这些便是OLS4500一体机的自由操作带给您的益处。

更加方便、更加顺利地完成超大范围观察和测量。
实现了自由切换操作的LEXT OLS4500,闪亮登场。

OLS4500的显微镜技术

♦ 光学显微镜的原理和特长 ♦ 激光显微镜的原理和特长 ♦ 探针显微镜的原理和特长

♦ 光学显微镜的原理和特长

光学显微镜是从样品上方照射可见光(波长约400nm~800nm),利用其反射光成像,能够放大样品数十倍到一千倍左右进行观察。光学显微镜的特长是可以真实观察彩色样品,还可以切换观察方法,强调样品表面的凹凸,利用物质特性(偏光性)进行观察。OLS4500上可以使用下述观察方法。

● 明视场观察 *基本的观察方法,通过样品的反射光成像进行观察
● 微分干涉观察 给样品表面的微小凹凸添加明暗对比,使之变为可视的立体影像
● 简易偏振光观察 照射偏振光 (有着特定振动方向的光线),把样品的偏光性变为可视影像

 

明視野観察

明视场观察 可以获取颜色信息。
纸张上的墨点

  ↑回到OLS4500的显微镜技术

♦ 激光显微镜的原理和特长

可进行亚微米级观察和测量的激光显微镜(LSM: Laser Scanning Microscope)

光学显微镜的平面分辨率很大程度取决于光的光子和波长,采用短波长的激光显微镜(LSM) 比采用可见光的传统显微镜,拥有更高的平面分辨率。

LEXT OLS4500采用405nm的短波长半导体激光、高数值孔径的专用物镜、以及独特的共焦光学系统,可以达到0.12µm的平面分辨率。此外,OLS4500配有奥林巴斯独有的扫描加扫描型2D扫描仪,可以实现高达4096×4096像素的高精度XY扫描。

レーザー顕微鏡の高解像XY走査(イメージ)

**的Z轴测量

激光显微镜采用短波长半导体激光和独有的双共焦光学系统,会删除未聚焦区域的信号,只将聚焦范围内的反射光检测为同一高度。同时结合高精度的光栅读取能力,可以生成高画质的影像,实现**的3D测量。

段差測定(マイクロレンズ)

高度测量(微透镜)

↑回到OLS4500的显微镜技术

♦ 探针显微镜的原理和特长

可以观察纳米级微观世界的探针显微镜(SPM: Scanning Probe Microscope)

探针显微镜(SPM)是通过机械式地用探针在样品表面移动,检测出探针与样品之间产生的力、电的相互作用,同时进行扫描,从而得到样品影像。探针**曲率半径为10nm左右。典型的探针显微镜是原子力显微镜(AFM:Atomic Force Microscope),它通过检测探针和样品表面之间作用的引力和张力进行扫描并获得影像。探针显微镜能够观察纳米级微观形貌,可以捕捉到样品*精细的一面。

プローブ顕微鏡の原理

探针显微镜的原理

   

通过微悬臂扫描进行纳米级观察

OLS4500上采用了光杠杆法——通过高灵敏度检测出*前端装有探针的微悬臂的微小弯曲量(位移)来进行观测的方法。在悬臂的背面反射激光,并用压电元件驱动Z轴,使激光照射到光电检测器的指定位置,从而正确读取Z方向的微小位移。

SPMセンサー部光路図
SPM传感器光路图
   

多种观察模式在影像中呈现表面形状和物性

探针显微镜拥有多种观察模式,可以观察、测量样品表面的形状,还可以进行物性分析。OLS4500配有以下模式。

● 接触模式 在影像中呈现表面形状(较硬的表面)
● 动态模式 在影像中呈现表面形状 (较软的表面,有粘性的表面)
● 相位模式 在影像中呈现样品表面的物性差
● 电流模式* 检测出探针和样品之间的电流并输出图像
● 表面电位模式(KFM) *    在影像中呈现样品表面的电位
● 磁力模式(MFM)* 在影像中呈现样品表面的磁性信息

*该模式为选项功能。

ポリマーフィルム

高分子薄膜

决定高精细度、高质量影像的微悬臂

探针位于长度约100µm~200µm的薄片状微悬臂的前端。您可以根据样品选择不同的弹簧常数、共振频率。反复扫描会磨损探针,所以请根据需要定期更换微悬探针。

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