由哪几部分组成中央真空系统？

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中央真空系统是由真空泵、PLC程序控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、境外过滤总成等组成的成套真空系统。目前，该系统广泛应用于电子半导体业、光电背光模组、机械加工等行业。

真空系统自启动后，全部运行过程可以实现全自动控制。在工作中，真空系统内各处的真空度(即真空稀薄程度平均分布)始终在其允许范围内上下波动，其波动范围可根据用户要求进行调整。

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