苏州真空泵：无油真空泵在电子技术领域的应用

合有:上、下卸料室，转移室，液晶注入，Color Filter等，用于有反应气体抽出的场合有:离子注入，刻蚀，抛光，LPCVD, PECVD等。在CVD生产中要求真空泵抽出反应生成物和N玛，q凡，C1凡, HCl等清洗气体。

一般工艺中的应用：

千蚀刻生产中多用到氟、氯、溟化物系等腐蚀性较强的气体，这些气体与水结合变成强酸，有强烈腐蚀性。因此，要求泵和管道材料具有高度耐腐蚀性育旨。

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