ALCATEL ADP122真空泵维修阿尔卡特ADP122 苏州曼特莱精密电子有限公司

ALCATEL ADP122真空泵维修

如果您对该产品感兴趣的话，可以
产品名称：ALCATEL ADP122真空泵维修
产品型号：阿尔卡特ADP122
产品展商：阿尔卡特真空泵维修
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简单介绍

ALCATEL ADP122真空泵维修应用： H 型：针对非常苛刻的工艺 P 型：针对中等工艺 LM 型：针对干净的工艺优点：体积小，占地面积小使用成本低非常高的性能（抽速以及极限压力）在苛刻环境下出色的运行效果易于一体化先进的监控功能（待机状态可减少N2 的消耗量，断电保护） SEMI S2-93 标准的兼容性（可选）

产品描述

阿尔卡特干泵的设计可将潜在沉积物*小化：
􀁺 通过减小气体经过的中间腔的容积
􀁺 通过在泵的每较好进行 N2 吹扫从而稀释工艺气体（P 和H 型）
􀁺 通过调节真空泵的温度使其符合各个工艺，从而限制气体在泵内的冷凝（P 和H 型）
多级罗茨的工作原理：
ADP 真空泵由5 级罗茨组成。两个转子旋转时互不接触。
ADP 122，共有2 个型号
ADP 122 P: 和外部的密闭机架一体化，包含：泵，监控系统，手动遥控器，水电气设施接
口，流量计面板，OEM 接口和串口连接等。
ADP 122 LM: 简化后的带监控系统的型号，用于干净的工艺（load-lock 和transfer chamberpumping）。

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