光学式表面粗糙度轮廓形貌仪/双频激光干涉仪/多点温度测量仪/激光皮带轮对中仪

德国JENAer公司生产的双频激光干涉仪是真正意义上的“双频激光干涉仪”。分为单轴路系统和多轴路系统。

多轴路系统的型号为ZLM800和ZLM900，主要用于微位移部件的测量，角度变化量的监测，运动平台变化量的检测，及光刻机几何量的测量，数控机床几何量的测量等。

单轴路系统的型号为ZLM700，用于机床的定位精度、重复定位精度、位移距离测量、速度加速度测量、线性度、直线度、垂直度、平面度、偏摆角、俯仰角、滚动角、角速度、圆形轨迹、微振动测量，还能够测量数控机床回转台的定位精度和重复定位精度等，从而实现定位、校准、控制和补偿。

详细介绍请点击这里进入本公司综合网站。