微型流量计的应用及原理

什么是微流量计？

微型流量计是一种可以测量很小流量的流量计，就液体而言，可以测量流量低于每分钟升的流体的流量计称为微型流量计。但范围较广，有微型流量计可以以微升（0.001毫升）/分钟为单位测量流量。

微型流量计的测量方法根据制造商的不同而有所不同，并且随着它们在测量稳定性、可测量的流体粘度范围以及可测量的小流量方面的竞争，微型流量计的性能日益提高。

微型流量计的应用

微型流量计的应用包括需要确实处理少量化学品的化工厂、食品厂和制药厂。在这些工厂中，持续定量地供应少量化学品会影响产品的质量，因此对微型流量计的需求非常高。

另外，为了进行透镜抛光工作和硅片抛光，需要定期供给极少量的抛光剂，因此这些任务中也少不了微型流量计。

微型流量计原理

测量分钟流量的方法有多种，并且新的测量方法仍在开发中，但以下三种方法是典型的。

• 风速计法这种方法通过加热器将
  液体流加热到一定温度。如果流量大，则从加热器带走的热量就大，需要较多的功率来使加热器保持恒温；反之，如果流量低，则需要的功率就少。风速计方法测量该电能的流速。
• 量热法
  在该方法中，将两个温度传感器放置在流体的上游和下游，并在传感器之间安装加热器。传感器之间存在加热器，会在上游和下游流体之间产生温差，并测量该温差。换句话说，流速越快，上下游温差越小，反之，流速越慢，温差越大，从而可以测量流速。
• 飞行时间 (TOF) 方法
  此方法在流体上游安装加热器，在下游安装温度传感器。当上游加热器加热的液体到达下游温度传感器时测量温度并测量流量。