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蚀刻设备的应用

日期：2024-10-05 16:14

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摘要：蚀刻设备的应用

蚀刻设备是制造电子器件的设备。具体用途如下。

光刻法用于制造这些。光刻是一种通过将光照射到感光材料表面来处理物体表面的技术，而蚀刻是光刻的一种工艺。

在蚀刻过程中，晶圆上氧化膜上涂有抗蚀剂的区域保留下来，而没有抗蚀剂的区域则剥落。凹凸不平，形成图案。